綁定服務Bonding

為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中破裂，ELETM可為客戶提供綁定（Bonding）服務，把靶材綁定在銅背板上，除了具有保護靶材免于運送或者拿取中的意外破裂，也可確保靶材的冷卻及電接觸良好，并可改善靶材使用時機械強度不足的問題或解決大尺寸面積靶材受限的問題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅， 金屬鈦，金屬鉬和不銹鋼，背板是在濺射時支撐靶材，以防靶材在濺射中出現開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命。

ELETM目前能提供純銦、InSn系列、自主研發的高溫導電膠系列等焊料綁定服務，綁定率＞95%，達到國際領先水平。

綁定范圍：金屬靶、陶瓷靶、合金靶、旋轉靶、平面靶、圓形靶、異形靶。

檢測方法：超聲波探傷檢測C-SCAN